气体纯化系统
配置对照
| 名称 | 单柱 | 双柱 | 有机柱可再生 |
|---|---|---|---|
| 设备尺寸（mm）L×W×H | 550×880×830 | 610×1180×830 | 605×880×830 |
| 气体纯化柱 | 1 | 2（一备一用） | 1 |
| 吸附能力 | O2：45～60L，H2O：2～2.5kg | O2：90～120L，H2O：4～5kg | — |
| 有机溶剂吸附柱 | 1 | 1 | 1 |
| 循环风机 | — | 1（流量60或者90m3/h） | — |
除水除氧，气体纯化柱吸附饱和后，可用氢气和氟气或氮气的混合气再生，恢复其吸附能力。
有机柱可再生：吸附饱和后再生，恢复其吸附能力。
技术参数
控制系统：由西门子的PLC和7″彩色触摸屏组成
真空泵：油泵，速率可达12m3/h
管路：不锈钢
主控阀门：电磁气动阀/电气动控制
工作气体：氮气、氩气、氦气
再生气体：N或Ar/H混合气（H浓度：5～10%）
运行机理：闭路循环
可净化箱体体积：可达5m3
指标：H2O <1PPM；O2 <1PPM
再生：自动再生程序
箱体压力控制：自动压力控制
辅助控制：脚踏开关辅助手动控制（压力调整范围：±10mbar）